产品展示| PRODUCT
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                      光刻机专用UV-LED光源

                      ① 曝光面积: 4'', 6'', 8''
                      ② 波段: 365nm, 385nm, 395nm, 405nm
                      单波段和双波段耦合
                      ③  有效工作面积:
                      4'': 110*110mm
                      6'': 160*160mm
                      8'': 200*200mm
                      ④  不均匀性: ≤4%  (max-min)/ (max+min) *100%
                      ⑤ 光强/能量值:
                      4'': >100mw@365nm  25A
                      6'': > 50mw@365nm   25A

                      8'': 25-50mw@365nm 25A

                      ⑥ 平行半角:

                      4'': ≤1.8°

                      6'': ≤1.3°

                      8'': ≤1.2°-2°

                      ⑦ 工作距离: 100-350nm

                      ⑧ 水冷方式

                      豫公网安备 41072102000587号

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